用于实行用于量测资料之通用座标系统的方法及设备

摘要

一种方法包含接收量测报告(metrology report),该量测报告包含由量测工具所收集之量测资料、关联于该量测资料之位置资料、和关联于该量测工具之背景资料(context data)。由该量测工具所使用的第一座标系统系根据该背景资料来决定。该位置资料系从该第一座标系统转换至第二座标系统,以产生转换之位置资料。该转换之位置资料系关联于该量测资料。