包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法及系统

摘要

本发明提供一种包含废气及粉尘之半导体制程尾气处理方法及系统,此处理方法系先提供复数个颗粒体,并将颗粒体加热至一反应温度。接着导入半导体制程尾气与颗粒体进行接触,藉以使尾气中废气形成一热分解气,且尾气中粉尘被颗粒体阻滞而被滤除。移除颗粒体及粉尘,并分离粉尘及颗粒体,同时将热分解气与经粉尘分离之颗粒体进行热交换,使颗粒体再循环使用,而被加热至反应温度并与半导体制程尾气进行接触。最后对热分解气进行水洗处理,以使热分解气溶于水中。