形成热稳定金属矽化物的方法

摘要

本发明系提供一种形成热稳定金属矽化物的方法,其系在一基底表面完成基本的源极、汲极与闸极相关制程后,溅镀一覆盖层,再进行一矽离子植入步骤,利用热制程使覆盖层中的金属原子进入多晶矽层中的晶粒界面,以提升多晶矽金属矽化物的热稳定性,并藉离子植入步骤提供额外的矽离子至矽底材,使得当元件尺寸缩小的情况下,仍可保持元件之特性,提升产品的良率。