监控低温快速热制程的方法

摘要

本发明系揭露一种监控低温快速热制程的方法,其系利用于晶圆上形成一包含有一矽化物层,一厚度为200钴金属层与一厚度为200氮化钛层之监控层,再藉由量测监控层的电阻値来监控该低温快速热制程的稳定性。