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发明名称 Apparatus and methods of plasma processing by using scan injectors
摘要
申请公布号 KR100842745(B1) 申请公布日期 2008.07.01
申请号 KR20060120160 申请日期 2006.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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