发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN CAPTEUR COMPRENANT UNE PHOTODIODE ET UN TRANSISTOR DE TRANSFERT DE CHARGES.
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur comprenant une photodiode et un transistor de transfert associé, le procédé comprenant les étapes suivantes :E1 : formation d'une région d'isolement (214) sur un substrat (200),E2 : formation de la diode d'un premier côté (gauche) de la région d'isolement (214), la diode étant auto-alignée sur la région d'isolement (214),E3 : remplacement de la région d'isolement (214) par une grille (226) du transistor de transfert.Application à la fabrication de capteurs d'image CMOS ou CCD.
申请公布号 FR2910709(A1) 申请公布日期 2008.06.27
申请号 FR20060011097 申请日期 2006.12.20
申请人 STMICROELECTRONICS SA SOCIETE ANONYME 发明人 ROY FRANCOIS
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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