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发明名称 MEMS SWITCHES WITH DEFORMING MEMBRANES
摘要 <p>MEMS switches are formed with membranes or layers (64) that are deformable upon the application of a voltage. The MEMS switches may comprise compliant terminals (82) and/or contact conductors (58) to produce contact swiping.</p>
申请公布号 WO2008076448(A1) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 WO2007US25938 申请日期 2007.12.17
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.;LEWIS, ALAN;KOGUT, LIOR;TUNG, MING-HAU 发明人 LEWIS, ALAN;KOGUT, LIOR;TUNG, MING-HAU
分类号 H01H59/00;G02B26/00;G02B26/08 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
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