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发明名称
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER OPTIMALEN RESISTDICKE
摘要
申请公布号
DE602004013794(D1)
申请公布日期
2008.06.26
申请号
DE200460013794T
申请日期
2004.08.07
申请人
NXP B.V.
发明人
ZIGER, DAVID
分类号
G03F7/16;G03F7/26
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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