Optimieren der Verwendung und Leistung von optischen Systemen, die mit telezentrischer Dunkelfeldbeleuchtung auf der Achse implementiert werden,申请号DE200611001820T-传众专利搜索

发明名称	Optimieren der Verwendung und Leistung von optischen Systemen, die mit telezentrischer Dunkelfeldbeleuchtung auf der Achse implementiert werden
摘要
申请公布号	DE112006001820(T5)	申请公布日期	2008.06.26
申请号	DE200611001820T	申请日期	2006.07.07
申请人	ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES INC.	发明人	BALDWIN, LEO;EMERY, JOSEPH J.
分类号	G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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