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Eine teilchenoptische Anordnung aus einem Elektronenmikroskopiesystem 3 und einem Ionenstrahlbearbeitungssystem 7 umfaß eine Objektivlinse 43 des Elektronenmikroskopiesystems, welche eine Ringelektrode 59 aufweist, welche eine einer Position 11 eines zu untersuchenden Objekts am nächsten angeordnete Komponente des Elektronenmikroskopiesystem ist. Zwischen der Ringelektrode und einer Hauptachse 9 des Ionenstrahlbearbeitungssystems 7 ist eine Abschirmelektrode 81 angeordnet.
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