发明名称 HERSTELLUNG EINES KONDENSATORS DURCH BILDUNG EINER MIT HALBKUGEL-KORN-SILIZIUM VERSEHENEN SILIZIUMELEKTRODE
摘要
申请公布号 DE60037443(T2) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 DE20006037443T 申请日期 2000.10.13
申请人 QIMONDA AG 发明人 TEWS, HELMUT HORST;LEE, BRIAN
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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