发明名称 Verfahren zur Herstellung einer epitaxialen Schicht für erhöhte Drain- und Sourcegebiete durch Entfernen von Kontaminationsstoffen
摘要
申请公布号 DE10335102(B4) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 DE20031035102 申请日期 2003.07.31
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 STRECK, CHRISTOF;KOERNER, GUIDO;KAMMLER, THORSTEN
分类号 H01L21/336;H01L21/00;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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