移送装置和半导体处理系统

摘要

半导体处理系统中的移送装置(17)包括能够分别在相互平行的有第一和第二垂直平面上移动的第一和第二支持部的第一和第二动作机构(9A、9B)。按照通过第一和第二动作机构以水平状态移动的方式由第一和第二支持部支持第一和第二移动台(18A、18B)。在第一和第二移动台上，分别配置着接收被处理基板(W)的能够伸缩的第一和第二搬运机构(19A、19B)。控制部(20)使第一和第二移动台互不干涉地控制第一和第二动作机构的动作。

主权项

1.一种搬送装置，用于半导体处理系统中，其特征在于，具备：两个移动台驱动机构(9A、9B)，下方具有基部(21)，该两个移动台驱动机构(9A、9B)的前端在与第一水平方向(X)平行且相互平行的第一垂直平面(VP1)和第二垂直平面(VP2)上可分别移动；在各移动台驱动机构(9A、9B)的前端，分别向另一方的移动台驱动机构侧延伸设置的、在第一垂直面(VP1)上可自由移动的第二移动台(18B)以及在第二垂直面(VP2)上可自由移动的第一移动台(18A)；设置于各移动台(18A、18B)上，以第一垂直面(VP1)和第二垂直面(VP2)之间的垂直面(VP0)为中心，可伸缩和旋转的负载移动机构(19A、19B)；和在第一移动台(18B)和第二移动台(18A)在公共空间内移动时，按照互不干涉的方式控制各移动台驱动机构(9A、9B)的移动的控制单元(20)，所述移动台驱动机构(9A、9B)，分别是可在所述第一垂直面(VP1)和所述第二垂直面(VP2)上伸缩和旋转的多关节臂，所述各负载移动机构(19A、19B)在与所述第一水平方向(X)垂直的第二水平方向(Y)上可伸缩，而且向相互不同的方向伸长。