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发明名称 METHOD FOR GENERATION OF A GIVEN INTERNAL PRESSURE IN A CAVITY OF A SEMICONDUCTOR COMPONENT
摘要
申请公布号 EP1836123(B1) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20060700450 申请日期 2006.01.04
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 QUENZER, HANS, JOACHIM;MERZ, PETER;OLDSEN, MARTIN;REINERT, WOLFGANG
分类号 B81B7/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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