发明名称 |
使用超短脉冲激光的激光加工法和激光加工装置 |
摘要 |
一种激光加工装置(101),包括一个用于输出超短脉冲激光束(107)的激光生成装置(105),一个用于控制激光生成装置(107)的激光控制装置,一个光学系统(106),一个用于测量光学系统(106)的光学系统控制装置,和一种用于测量超短脉冲激光束(107)的测量装置(109)。超短脉冲激光束中的最大噪音分量脉冲的强度被控制为超短脉冲激光束(107)中主脉冲强度的2.5%或更少。 |
申请公布号 |
CN100396423C |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN03817475.8 |
申请日期 |
2003.07.14 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
水山洋右;丰福洋介;刘新兵;郑震雄 |
分类号 |
B23K26/06(2006.01);B41J2/16(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/06(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
1.一种激光加工方法,包括使用超短脉冲激光束加工材料的步骤,其中该超短脉冲激光束的最大噪音分量脉冲的强度为超短脉冲激光束中主脉冲强度的2.5%或更少。 |
地址 |
日本大阪 |