发明名称 |
感光性树脂组合物的图案形成方法、滤色片及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种可以缩短感光性树脂组合物的图案形成所需要的时间的感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该方法的滤色片的制作方法、利用该制作方法得到的滤色片以及具有该滤色片的显示装置,其是至少包括:在真空中干燥基板上涂敷的感光性树脂组合物从而得到感光性树脂组合物层的真空干燥工序;和对所述感光性树脂组合物层进行曝光的曝光工序,且所述真空干燥工序与所述曝光工序依次连续地进行的感光性树脂组合物的图案形成方法,至少进行一次该方法的滤色片的制作方法,利用该制作方法制作的滤色片以及具有该滤色片的显示装置。 |
申请公布号 |
CN101206396A |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN200710199647.1 |
申请日期 |
2007.12.11 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
吉野晴彦 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01);F26B5/04(2006.01);G02B5/20(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱丹 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物的图案形成方法,其中,至少包括:在真空中干燥在基板上涂敷的感光性树脂组合物从而得到感光性树脂组合物层的真空干燥工序;和对所述感光性树脂组合物层进行曝光的曝光工序,所述真空干燥工序与所述曝光工序依次连续地进行。 |
地址 |
日本国东京都 |