| 发明名称 | 机械手臂校正工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种机械手臂校正工具，用于校正机械手臂相对于一对准轴的位置，所述机械手臂的端部具有一弧形开口，对准轴是一圆柱体，所述的校正工具是一块平板，其具有一环形凸台，且所述环形凸台的内径等于对准轴的直径，外半径等于机械手臂弧形开口上的点到对准轴中心的水平距离。采用本实用新型的机械手臂校正工具可方便准确地完成机械手臂相对于对准轴的初始位置校正，与现有技术中通过目测和直尺测量相比，其校正精度和速度大大提高，并能保证不同的操作人员校正出相同的结果。 | ||
| 申请公布号 | CN201077081Y | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200720072522.8 | 申请日期 | 2007.07.17 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 张勇;史旭;李亮亮;陈中林 |
| 分类号 | B25J19/00(2006.01);H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | B25J19/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种机械手臂校正工具，用于校正机械手臂相对于一对准轴的位置，所述机械手臂用于取放晶圆，其端部具有一弧形开口，对准轴是一圆柱体，其特征在于：所述的校正工具是一块平板，其中央具有一环形凸台，且所述环形凸台的内径等于对准轴的直径，外半径等于机械手臂弧形开口上的点到对准轴中心的水平距离。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||