SINGLE PEACE TYPE SUBSTRATE CLEANING APPARATUS,申请号KR20010052713-传众专利搜索

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发明名称	SINGLE PEACE TYPE SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100841498(B1)	申请公布日期	2008.06.25
申请号	KR20010052713	申请日期	2001.08.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/306;H01L21/00	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
地址

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