向处理工具提供衬底的方法和设备

摘要

一方面，一种用于处理工具的衬底装载台包括多个装载端口。每个装载端口皆被操作地连接到处理工具，且具有一个用来打开衬底承载器的机构。承载器装卸装置将衬底承载器从生产交换位置传送到装载端口，而不会将承载器放置在除了装载端口外的任何承载器支撑位置上。本发明还提供了许多其它方面。

主权项

1.一种向处理工具提供衬底的方法，其包括：提供没有局域储存器的多个装载端口，每个装载端口皆具有适于打开衬底承载器的机构；提供没有局域储存器的一个生产交换位置，当所述衬底承载器在运转中且由衬底承载器传送装置传送时，在该位置处与所述衬底承载器传送装置交换所述衬底承载器；提供一个承载器装卸装置，其具有一个适于接触衬底承载器的末端执行器，所述承载器装卸装置适于在所述生产交换位置与所述多个装载端口之间传送衬底承载器；在所述生产交换位置处，从所述衬底承载器传送装置接收第一批衬底承载器；且对于所述第一批衬底承载器中的每一个：将所述衬底承载器从所述生产交换位置直接传送到所述多个装载端口中一个相应的没有储存所述衬底承载器的装载端口；在所述相应装载端口处系泊和打开所述衬底承载器；在所述相应装载端口处脱泊和关闭所述衬底承载器；将所述衬底承载器从所述相应装载端口直接传送到没有储存所述衬底承载器的所述生产交换位置；且将所述衬底承载器送回所述衬底承载器传送装置。