制作金属互连线及其金属间介电层的方法

摘要

一种制作金属互连线与其金属间介电层的方法。首先在基底上依序利用镀膜工艺形成第一金属互连线图案与堆叠于其上的第二金属互连线图案。接着在该基底、这些第一金属互连线图案与这些第二金属互连线图案上形成金属间介电层。最后由该金属间介电层的表面平坦化该金属间介电层直至曝露出该第二金属互连线图案。

主权项

1.一种制作金属互连线的方法，包含有：提供基底：在该基底上形成第一牺牲图案，该第一牺牲图案包含有多个第一开口；进行第一镀膜工艺，在各该第一开口中形成第一金属互连线图案；去除该第一牺牲图案，接着在该基底与这些第一金属互连线图案上形成第二牺牲图案，该第二牺牲图案包含有多个第二开口，曝露出部分该第一金属互连线图案；进行第二镀膜工艺，在各该第二开口中形成第二金属互连线图案；去除该第二牺牲图案；在该基底、这些第一金属互连线图案与这些第二金属互连线图案上形成金属间介电层；以及由该金属间介电层的表面平坦化该金属间介电层直至曝露出该第二金属互连线图案。