| 发明名称 | 图像传感器的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种图像传感器的制造方法，包括下列步骤：在滤色镜层上形成光致抗蚀剂层；对所述光致抗蚀剂层进行曝光，以形成从所述光致抗蚀剂层的上表面起具有预定深度的图案；热处理所述光致抗蚀剂层以形成微透镜前体；以及蚀刻所述微透镜前体以形成微透镜。根据本发明的图像传感器的制造方法，能够制造无间隙的微透镜，从而提高图像传感器的灵敏度。 | ||
| 申请公布号 | CN101207076A | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200710162192.6 | 申请日期 | 2007.12.21 |
| 申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 黄俊 |
| 分类号 | H01L21/82(2006.01);H01L21/71(2006.01);H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L21/82(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军 |
| 主权项 | 1.一种图像传感器的制造方法，包括下列步骤：在滤色镜层上形成光致抗蚀剂层；对所述光致抗蚀剂层进行曝光，以在所述光致抗蚀剂层中形成具有预定深度的图案；加热所述光致抗蚀剂层以形成微透镜前体；以及蚀刻所述微透镜前体以形成微透镜。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||