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发明名称 PUMP APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要 <p>The invention relates to a pump apparatus for use in semiconductor processing. The apparatus may include a single pump configured to transition a substance flow from about molecular pressure to about atmospheric pressure.</p>
申请公布号 EP1934482(A2) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20060815874 申请日期 2006.09.28
申请人 EDWARDS VACUUM, INC. 发明人 HUNTLEY, GRAEME
分类号 F04D29/04 主分类号 F04D29/04
代理机构 代理人
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