容积流体分配系统中流体状态的控制

摘要

一种用于控制半导体制造过程中供给管线中流体压力的改进的容积流体分配系统。该分配系统包括带有压力容器或脉冲阻尼器的基于泵的发动机。在泵－压力容器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整容器的分配压力。在泵－脉冲阻尼器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整泵的流速以将供给管线中的压力维持在预定的给定值。

主权项

1.一种用来控制流体分配系统的供给管线中流体压力的装置，包括：适于接收来自流体源的流体的泵；用来测量容器中流体液位的液位传感器的容器，其中该容器适于从泵接收流体并将流体分配到供给管线；用来将惰性气体供给到容器的惰性气源，其中该调节器适于调节惰性气体的压力；设置在供给管线中的流体传感器；和控制器，该控制器适于接收来自流体传感器的控制信号并将分配压力信号发送到调节器以调整惰性气体的压力，以便维持供给管线中流体的预定压力。