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经营范围
发明名称
MICROMECHANICAL DEVICE COMPRISING A MOBILE BEAM
摘要
申请公布号
EP1846320(B1)
申请公布日期
2008.06.25
申请号
EP20060709238
申请日期
2006.02.02
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
FLEURY, GATIEN;CHARVET, PIERRE-LOUIS
分类号
B81B3/00;H01H50/00
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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