| 发明名称 | 扩散片更换装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种扩散片更换装置。现有的扩散片更换装置存在操作复杂、扩散片更换时更换装置与其它光学元件发生碰撞等问题。本实用新型的用于光刻机扩散片的更换装置，包括柄杆，其中该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头。采用本实用新型的更换装置不仅能方便地扩散片与积分镜固定或者分离，而且扩散片更换时更换装置不会与其它光学元件发生碰撞。 | ||
| 申请公布号 | CN201077041Y | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200720071949.6 | 申请日期 | 2007.06.29 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王琨;李云锋;张伟;徐敏祺 |
| 分类号 | B25B13/48(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | B25B13/48(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种扩散片更换装置，包括柄杆，其特征在于：该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头，该柄头可插入扩散片的通孔中。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||