发明名称 MEMS switch and method of fabricating the same
摘要
申请公布号 EP1672662(B1) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20050025063 申请日期 2005.11.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, CHE-HEUNG;SHIN, HYUNG-JAE;KWEON, SOON-CHEOL;KIM, KYU-SIK;LEE, SANG-HUN
分类号 H01H59/00 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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