Process for producing glass pane coating by magnetron sputtering process, glass pane with transparent thin-layer system and double-glazing pane incorporating the coated glass pane

摘要

Pri zpusobu vytvárení povlaku na skle magnetronovým naprašováním, pricemž povlak obsahuje alespon jednu vrstvu stríbra, spodní antireflexní vrstvu a vnejší antireflexní vrstvu, je spodní antireflexnívrstva tvorena souvrstvím dílcích vrstev obsahujícím vrstvu oxidu titanu, nanášenou stredofrekvencním naprašováním, a vrstvu oxidu zinecnatého mezi vrstvou oxidu titanu a vrstvou stríbra. Pro získánívrstev stríbra s mimorádne vysokou mernou elektrickou vodivostí se 15 až 50 nm tlustá vrstva oxidu titanu nanáší na sklo stredofrekvencním naprašováním ze dvou titanových katod v atmosfére obsahujícíkyslík, pricemž vrstva oxidu zinecnatého o tlouštce 2 až 18 nm se nanáší prímo na vrstvu oxidu titanu.