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发明名称
摘要
申请公布号 JP4108125(B2) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 JP19970521107 申请日期 1996.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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