发明名称 |
存储器件,特别是具有晶体管的相变随机存取存储器件,以及用于制造存储器件的方法 |
摘要 |
本发明涉及存储器件,具体地涉及电阻地开关的存储器件,比如相变随机存取存储器(“PCRAM”)。公开了一种方法,其中非导电材料纳米线形成为用作产生导电材料纳米管的模子。在纳米管的顶部上沉积开关活性材料块,因此纳米管的环形前端面耦合于开关活性材料,并因此形成底部电极接触部。 |
申请公布号 |
CN101207149A |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN200710187754.2 |
申请日期 |
2007.11.23 |
申请人 |
奇梦达股份公司 |
发明人 |
哈拉尔德·塞德尔 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01);H01L45/00(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);G11C11/56(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
章社杲;吴贵明 |
主权项 |
1.一种包括存储单元阵列的集成电路,其中,每个所述存储单元包括开关活性材料块,所述开关活性材料块由围绕非导电纳米线形成的环形接触部所接触。 |
地址 |
德国慕尼黑 |