发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 本发明提供一种图像传感器和其制造方法。在包括光电二极管的衬底上形成多层的层间绝缘层,并在所述层间绝缘层中形成金属线,使得所述金属线穿过所述层间绝缘层。在所述金属线上形成导电阻挡层,在所述层间绝缘层和所述金属线上形成彩色滤光器阵列,并且在所述彩色滤光器阵列上形成微透镜。
申请公布号 CN101207077A 申请公布日期 2008.06.25
申请号 CN200710170310.8 申请日期 2007.11.08
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 李玟炯
分类号 H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L27/146(2006.01);H01L23/522(2006.01) 主分类号 H01L21/82(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 刘继富;顾晋伟
主权项 1.一种制造图像传感器的方法,包括:在包括光电二极管的衬底上形成层间绝缘层;在所述层间绝缘层中形成金属线,所述金属线穿过所述层间绝缘层;在所述金属线上形成导电阻挡层;在所述层间绝缘层和所述金属线上形成彩色滤光器阵列;和在所述彩色滤光器阵列上形成微透镜。
地址 韩国首尔