发明名称 |
图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种图像传感器和其制造方法。在包括光电二极管的衬底上形成多层的层间绝缘层,并在所述层间绝缘层中形成金属线,使得所述金属线穿过所述层间绝缘层。在所述金属线上形成导电阻挡层,在所述层间绝缘层和所述金属线上形成彩色滤光器阵列,并且在所述彩色滤光器阵列上形成微透镜。 |
申请公布号 |
CN101207077A |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN200710170310.8 |
申请日期 |
2007.11.08 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
李玟炯 |
分类号 |
H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L27/146(2006.01);H01L23/522(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/82(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
刘继富;顾晋伟 |
主权项 |
1.一种制造图像传感器的方法,包括:在包括光电二极管的衬底上形成层间绝缘层;在所述层间绝缘层中形成金属线,所述金属线穿过所述层间绝缘层;在所述金属线上形成导电阻挡层;在所述层间绝缘层和所述金属线上形成彩色滤光器阵列;和在所述彩色滤光器阵列上形成微透镜。 |
地址 |
韩国首尔 |