悬臂型PLC光衰减器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种悬臂型PLC光衰减器。光衰减器包括由硅制成的基础衬底、输入波导和输出波导。绕输出波导的上下硅衬底的前面部分薄于绕输出波导的上下硅衬底的后面部分。在下悬臂衬底部的底面上提供的第一电极，以及在基础衬底上提供的第二电极以便电磁对应于第一电极。当在第一和第二电极间施加电压时，通过电磁力上下移动悬臂部，从而控制输出光。

主权项

1.一种悬臂型平面光波电路光衰减器，能通过衰减输入光的强度来控制输出光，包括：由硅制成的基础衬底；安置在所述基础衬底上、在上下硅衬底间提供的输入波导，以便通过所述输入波导输入光信号；安置在所述基础衬底上、在上下硅衬底间提供以及与所述输入波导位于同一平面上并与所述输入波导分开预定间隔的输出波导，具有薄于绕所述输出波导的上下硅衬底的后面部分的绕所述输出波导的上下硅衬底的前面部分，以便提供具有上下悬臂衬底部的悬臂部，所述输出波导在将所述光信号输出到外部元件前，接收从所述输入波导传送的所述光信号；在下悬臂衬底部的底面上提供的第一电极；以及在所述基础衬底上提供的第二电极以便电磁对应于所述第一电极，其中，在所述第一和第二电极间施加电压以便通过电磁力上下移动所述悬臂部，从而控制所述输出光，其中，所述第一和第二电极由金属制成，其中，所述上悬臂衬底部具有等于所述下悬臂衬底部的厚度。