静电电容传感器

摘要

一种静电电容传感器，包括传感器管芯以及屏蔽构件，其中传感器管芯包括间隔很小距离而相对定位的偏压电极和信号电极，所述屏蔽构件包括外部形状覆盖了信号电极的垂直投影区域的稳定电位导电膜。传感器管芯与屏蔽构件的接合表面接合。信号电极被定位在偏压电极和稳定电位导电膜之间。使用偏压电极和稳定电位导电膜形成了适用于信号电极的噪声屏蔽；因此，可以提高信号电极的噪声阻抗，并提高灵敏度中的信噪比。

主权项

1.一种静电电容传感器，包括：传感器管芯，包括相互相对地定位的偏压电极和信号电极；以及屏蔽构件，具有接合所述传感器管芯的接合表面，其中所述屏蔽构件包括稳定电位导电膜，所述稳定电位导电膜的外部形状在俯视图中包围所述信号电极的垂直投影区域，其中所述信号电极定位在所述偏压电极和所述稳定电位导电膜之间。