减压干燥装置

摘要

本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并防止转印痕迹附着在基板上的涂敷膜上。该减压干燥单元(VD)(46)通过搬入侧滚轴搬送路(104)的滚轴搬送和台(122)上的浮起式辊搬送，将应接受减压干燥处理的基板G搬入腔室(106)中，通过台(122)上的浮起式辊搬送路的浮起式辊搬送和搬出侧滚轴搬送路(110)的滚轴搬送，将在腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G向腔室(106)外搬出。在减压干燥处理中，基板G以面接触状态载置在台(122)的上面。

主权项

1.一种减压干燥装置，用于在减压状态下对被处理基板上的涂敷液实施干燥处理，其特征在于，包括：腔室，其具有用于将所述基板以大致水平状态收容的空间，并能够减压；第一排气机构，其在所述干燥处理中用于在密闭状态下对所述腔室内的空间进行真空排气；台，其具有用于在所述腔室内载置所述基板的上面，并且具有用于向所述上面喷出使所述基板浮起的气体的大量的气体喷出孔；气体供给部，其用于通过穿过所述台中的气体线路向所述气体喷出孔供给浮起基板用的气体；和第二排气机构，其用于对所述气体线路进行真空排气，在进行所述干燥处理时，使所述气体线路与所述第二排气机构连接并将所述基板载置在所述台的上面，在进行所述基板的搬入搬出时，使所述气体线路与所述气体供给部连接并使所述基板在所述台上浮起。