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发明名称 Negative resist composition
摘要
申请公布号 EP1076261(B1) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20000117227 申请日期 2000.08.11
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 UENISHI, KAZUYA
分类号 G03F7/004;H01L21/027;G03F7/038;G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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