Single stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system,申请号EP20030028694-传众专利搜索

发明名称	Single stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system
摘要
申请公布号	EP1521289(B1)	申请公布日期	2008.06.25
申请号	EP20030028694	申请日期	2003.12.16
申请人	ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH	发明人	FROSIEN, JUERGEN, DR.;DEGENHARDT, RALF;LANIO, STEFAN, DR.;SCHOENECKER, GERALD
分类号	H01J49/28;H01J37/153;H01J37/05;H01J37/28;H01J49/46	主分类号	H01J49/28
代理机构		代理人
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