在公共平面中有歧管连接的模块式衬底配气板

摘要

一种包括第一气体棒(A)、第二气体棒和第一歧管(110)的配气板。第一气体棒(A)有包括第一组在公共平面中形成的众多端口的第一流动路径，而第二气体棒(B)有包括第二组在公共平面中形成的众多端口的第二流动路径。第一歧管有形成于公共平面中的第一和第二端口(37、39)，第一端口(37)与第一气体棒(A)的第一组众多端口之中的一个端口流体地连接，而第二端口(39)与第二气体棒(B)的第二组众多端口之中的一个端口流体地连接。绝热减振组件可能用来把第一和第二气体棒安装到安装板上。

主权项

1.一种促成流体分配的系统，该系统包括衬底，衬底具有形成于衬底的第一表面中的第一端口和第二端口，形成于衬底中并按将第一端口与第二端口连通的第一方向延伸的第一流体通道，形成于衬底的第一表面中并按不同于第一方向的第二方向延伸的沟槽，所述沟槽适合于放置歧管，该歧管包括分别形成于歧管的第一表面和第二表面的第一端口和第二端口，所述的歧管还具有把歧管的第一端口与歧管的第二端口连通的流体通道，其特征在于：在衬底的第一表面中形成的沟槽经过配置将歧管容纳于其中，以致衬底的第一表面和歧管的第一表面在公共平面中对准。