| 发明名称 | 用于测量平台的校准的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于使用人造板来至少二维地校准测量平台的方法，所述人造板具有形成图案的掩模，包括步骤：将人造板放置在测量平台上的至少3个位置中，假设测量平台和人造板的几何属性，以及对于每次测量，人造板的位置，形成预测人造板的测量的模型，通过测量平台测量掩模，以及反演所述模型以改进对测量平台和人造板的假设。 | ||
| 申请公布号 | CN100397037C | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200480031839.6 | 申请日期 | 2004.10.27 |
| 申请人 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 发明人 | 拉尔斯·斯蒂布勒特;彼得·埃克伯格 |
| 分类号 | G01B21/04(2006.01) | 主分类号 | G01B21/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄小临;王志森 |
| 主权项 | 1.一种用于使用具有形成图案的掩模的人造板来至少二维地校准测量平台的方法，包括步骤：-将人造板放置在测量平台上的至少3个位置中；-假设测量平台和人造板的几何属性，以及每次测量的人造板的位置；-形成预测人造板的测量的模型；-通过测量平台测量掩模；以及-反演所述模型以改进对测量平台和人造板的假设。 | ||
| 地址 | 瑞典泰比 | ||