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发明名称
BISIMIDE COMPOUND, ACID GENERATOR AND RESIST COMPOSITION EACH CONTAINING THE SAME, AND METHOD OF FORMING PATTERN FROM THE COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR100840635(B1)
申请公布日期
2008.06.24
申请号
KR20047008000
申请日期
2002.11.28
申请人
发明人
分类号
C07D487/04;C07D209/48;C07D409/14;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039
主分类号
C07D487/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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