发明名称 method for manufacturing of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100840684(B1) 申请公布日期 2008.06.24
申请号 KR20010066788 申请日期 2001.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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