método de acionamento para dispositivos mems

摘要

MéTODO DE ACIONAMENTO PARA DISPOSITIVOS MEMS Modalidades de moduladores interferométricos MEMS exemplares são dispostas em interseções de fileiras e colunas de eletrodos. Em certas modalidades, o eletrodo de coluna tem uma resistência elétrica mais baixa do que o eletrodo de fileira. Um circuito de acionamento aplica uma diferença de potencial de uma primeira polaridade através de eletrodos durante uma primeira fase e então rapidamente realiza transição para aplicar uma tensão de polarização tendo uma polaridade oposta à primeira polaridade durante uma segunda fase. Em certas modalidades, um valor absoluto da diferença entre as tensões aplicadas no eletrodo de fileira é menor do que um valor absoluto da diferença entre as tensões aplicadas no eletrodo de coluna durante as primeira e segunda fases.