发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EVAPORATING A PRECURSOR, AND METHOD OF FORMING A DIELECTRIC LAYER USING THE METHOD
摘要
申请公布号 KR100840783(B1) 申请公布日期 2008.06.23
申请号 KR20060078535 申请日期 2006.08.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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