| 主权项 |
1.一种从加工室的组件清洁加工沈积的方法,该组 件具有多数气体开口,该方法包含如下: (a)机械性钉扎该组件的气体开口以清洁在该等气 体开口中的加工沈积; (b)将该组件暴露至一酸性溶液中;以及 (c)藉由下列将电浆安定: (1)将该组件放置于一电浆区内; (2)将一气体引进至该电浆区内; (3)形成该气体之一电浆在该电浆区中;以及 (4)将该气体从该电浆区排出。 2.如申请专利范围第1项之方法,该方法包含重复(a) 在先且重复(b)在后。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中组件包含一包 覆一电极的陶瓷,且其中(b)包含将该陶瓷暴露于一 酸性溶液,该酸性溶液包含氢氟酸及硝酸。 4.如申请专利范围第3项之方法,其中该酸性溶液包 含呈一以重量计比例从约3到约4的氢氟酸及硝酸 。 5.如申请专利范围第1项之方法,其中一静电式晶圆 座,该静电式晶圆座包含一在该陶瓷下面的金属基 部,且其中(b)包含暴露该夹盘的陶瓷至该酸性溶液 ,实质上不将该金属基部暴露至该酸性溶液。 6.如申请专利范围第1项之方法,其中(c)(2)包含将一 包含氩或氮的非反应性气体引进至该电浆区内。 7.如申请专利范围第1项之方法,在(c)之前,试验该 陶瓷的电阻。 8.一种用于从一加工室的组件之多数气体开口清 洁加工沈积的钉扎工具,该工具包含如下: (a)一箱;以及 (b)多数从该箱突出之伸长的螺栓,该等伸长的螺栓 被隔开放置以与在加工室的组件中的气体开口配 置相配。 9.如申请专利范围第8项之工具,该工具进一步包含 一轴,该轴系旋转地被连接至该箱,其中该轴界定 一纵向轴轴心,该等螺栓界定一纵向螺栓轴心且该 轴系被机械性地与该等螺栓接合使得该轴对该轴 轴心的转动造成该等螺栓对该等螺栓轴心的转动 。 10.如申请专利范围第9项之工具,其中该等螺栓系 以一环形的形式而被配置。 11.如申请专利范围第9项之工具,其中该等螺栓包 含一磨削料涂覆。 图式简单说明: 第1图为一包含一加工室的基材加工装置之图解剖 面图; 第2A图为一静电式晶圆座的顶视图; 第2B图为第2A图之静电式晶圆座的侧剖面图; 第3图为显示根据本发明之一清洁加工的一具体实 施的流程图; 第4A图显示第2A、B图的静电式晶圆座以及一具螺 栓的机械性钉扎工具,该等螺栓系被配置以清洁静 电式晶圆座的气体开口; 第4B图显示机械性钉扎工具的螺栓接合在静电式 晶圆座中的气体开口以清洁静电式晶圆座;以及 第5图为一具一轴之机械性钉扎工具的横断面底视 图,该轴系机械性地接合螺栓。 |
