| 主权项 |
1.一种可定心一要被处理之物件的定心机构,该机 构系包括: 一可在其上承载该要被处理之物件的支撑台; 至少两定心板,其系位于该支撑台之其中一侧或两 侧上面,且该等定心板具有沿该要被处理之物件的 外周缘表面延伸之囓合表面;和 一可使该等定心板相对于该要被处理之物件而移 动的驱动机构,该驱动机构移动该两定心板。 2.如申请专利范围第1项之定心机构,其中之支撑台 ,系具有一升降机构。 3.如申请专利范围第1项之定心机构,其中该定心板 包括一对定心板,且该驱动机构为可藉由移动该等 定心板中的至少一者,以扩大及缩小该等定心板之 间的间隔之机构。 4.如申请专利范围第1项之定心机构,其中该等定心 板,系具有多数在多数个别沿该等具有不同尺寸之 要被处理的物件之外周缘表面延伸的层排之囓合 表面,以对应于具有不同尺寸之多数类型之要被处 理之物件。 5.如申请专利范围第1项之定心机构,其中之驱动机 构,系包括一耦合至其至少之一可支撑该等定心板 的轴杆之连杆机构,和一耦合至该连杆机构之圆筒 机构。 6.一种定心单元,系包含申请专利范围第1项之定心 机构及可储存多数要被处理之物件的储存区域。 7.如申请专利范围第6项之定心单元,其中该储存区 域,系具有一可储存多数具有不同尺寸之类型的要 被处理之物件的部分。 8.一种半导体制造装置,其系具有一可承载一要被 处理之物件的主夹盘,和一可对承载于该主夹盘之 要被处理之物件进行预定处理的处理机构,此种半 导体制造装置系包括: 一可定心该要被处理之物件的定心机构,此定心机 构系包括:一可在其上承载该要被处理之物件的支 撑台、至少两定心板,其系位于该支撑台之其中一 侧或两侧上面,且该等定心板具有沿上述要被处理 之物件的外周缘表面延伸之囓合表面、和一可使 该两定心板装置相对于该要被处理之物件而移动 的驱动机构;和 一可在该等定心机构与主夹盘间转送该要被处理 之物件的转送机构。 9.如申请专利范围第8项之半导体制造装置,其中之 支撑台,系具有一升降机构。 10.如申请专利范围第8项之半导体制造装置,其中 该定心板包括一对定心板,且该驱动机构为可藉由 移动该等定心板中的至少一者,以扩大及缩小该等 定心板之间的间隔之机构。 11.如申请专利范围第8项之半导体制造装置,其中 该定心板,系具有多数在多数个别沿该等具有不同 尺寸之要被处理的物件之外周缘表面延伸的层排 之囓合表面,以对应于具有不同尺寸之多数类型之 要被处理之物件。 12.如申请专利范围第8项之半导体制造装置,其中 之驱动机构,系包括一耦合至其至少之一可支撑该 等定心板之轴杆的连杆机构,和一耦合至该连杆机 构之圆筒机构。 13.如申请专利范围第8项之半导体制造装置,其中 进一步系包括一可储存多数要被处理之物件的储 存区域。 14.如申请专利范围第13项之半导体制造装置,其中 之储存区域,系具有一可储存多数具有不同尺寸之 类型的要被处理之物件的部分。 15.一种可定心一在一支撑台上面要被处理之物件 的方法,该方法系包括: 将该要被处理之物件,置于该支撑台上面; 朝该要被处理之物件移动至少两定心板,该等定心 板系位于该支撑台之其中一侧或两侧上面,且该等 定心板具有沿该要被处理之物件的外周缘表面延 伸之囓合表面; 使该等定心板之囓合表面,与该要被处理之物件的 外周缘表面相接触;以及 使用该等定心板之囓合表面,压制该要被处理之物 件的外周缘表面,来移动该要被处理之物件,藉此 将该要被处理之物件定位在一中央位置内。 图式简单说明: 第1A图系一可显示一依据本发明有关要被处理之 物件的转送系统之一范例的示意图; 第1B图系一可显示一AGV之配置的示意图; 第2图系一可示意显示其在一检测室与其AGV间递送 一晶圆的平面图; 第3A图系一可显示一依据本发明之定心单元的一 个实施例之正视图; 第3B图系一可显示自其AGV接收一晶圆有关之运作 的侧视图; 第3C图系一可示意显示一支撑台之平面图;而 第4图则系第3A图中所显示之晶圆储存区域内暂时 储存晶圆的方式之视图。 |
