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发明名称 Wafer cooling system of Ion Implanters
摘要
申请公布号 KR100840468(B1) 申请公布日期 2008.06.20
申请号 KR20060114928 申请日期 2006.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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