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发明名称 THIN FILM MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING APPARATUS, AND THIN-FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100840423(B1) 申请公布日期 2008.06.20
申请号 KR20027012577 申请日期 2002.09.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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