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发明名称
ENTWURF VON MARKEN ZU LITOGRAPHISCHEN AUSRICHTUNGEN UND ÜBERDECKUNGSMESSUNGEN AUF EINER DAMASZENOBERFLÄCHE
摘要
申请公布号
DE60226408(D1)
申请公布日期
2008.06.19
申请号
DE2002626408
申请日期
2002.01.24
申请人
QIMONDA AG
发明人
NING, XIAN J.
分类号
H01L23/52;H01L23/544;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3205;H01L21/461;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/22
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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