SYSTEM UND VERFAHREN ZUR ZUVERLÄSSIGKEITSBEWERTUNG,申请号DE20026026484-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SYSTEM UND VERFAHREN ZUR ZUVERLÄSSIGKEITSBEWERTUNG
摘要
申请公布号	DE60226484(D1)	申请公布日期	2008.06.19
申请号	DE20026026484	申请日期	2002.11.27
申请人	TOKYO ELECTRON LTD.;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;IBIDEN CO. LTD.	发明人	TAKEKOSHI, KIYOSHI;HOSAKA, HISATOMI;HAGIHARA, JUNICHI;HATSUSHIKA, KUNIHIKO;USUI, TAKAMASA;KANEKO, HISASHI;HAYASAKA, NOBUO;IDO, YOSHIYUKI
分类号	G01R31/26;H01L21/66;G01R1/04;G01R31/28;G01R31/30	主分类号	G01R31/26
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