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发明名称 KASSETTE ZUM SPEICHERN MEHRERER HALBLEITERWAFERLAGEN
摘要
申请公布号 DE60226512(D1) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 DE20026026512 申请日期 2002.11.26
申请人 DISCO CORP. 发明人 NANJO, MASATOSHI
分类号 H01L21/68;B65D85/86;H01L21/673;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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