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发明名称 Integrationsschema für die Füllung von Spalten zwischen Metallleitungen mit CMP mit fixiertem Schleifmittel
摘要
申请公布号 DE10307279(B4) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 DE2003107279 申请日期 2003.02.20
申请人 QIMONDA AG 发明人 ROBL, WERNER;GOEBEL, THOMAS;WRSCHKA, PETER
分类号 H01L21/302;H01L21/3105 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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