发明名称 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE60130348(T2) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 DE20016030348T 申请日期 2001.11.22
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VAN DER VEEN, PAUL
分类号 G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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